招标公告

1. 招标条件

本招标项目金属刻蚀机 该项目已具备招标条件，现对金属刻蚀机进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号： ZKX20260429A010

2.2 招标项目名称：金属刻蚀机。

2.3数量:1台。

2.4 主要内容：本项目采购的金属刻蚀机为8英寸全新国产设备、具备SMIF-RFID式的晶圆传送识别装置和EAP通讯功能。整机包括工艺腔室模块、去胶腔室模块、传输模块、终点模块和软件模块等。半导体制造工艺中，金属刻蚀工艺作为必不可少的一个环节，复杂的电路设计需要用到更多层次的金属布线。光刻完成金属布线的图形定义后，金属刻蚀机利用等离子体去除无光刻胶保护部分的金属，最终将图形转移至圆片上完成金属布线。

2.5 交货

2.6 交货期：合同生效后3个月内 。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人需提供2024年1月1日至今已签订的用于半导体产线的本次投标同型号或同系列设备销售业绩≥10台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人或所投产品制造商），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容（如合同内容无法体现上述要求，需提供相应技术附件予以佐证），未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目接受代理商投标，如代理商投标，需提供所投产品制造商针对本项目的授权证明文件，同一品牌同一型号产品仅能授权一家投标人参与本项目投标，制造商与代理商不得同时参与本项目投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade