就对下述标段进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
2.1项目概况
详见招标文件。
2.2招标范围
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序号
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标段名称
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招标范围
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工期要求
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交货地点
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信息服务费（元）
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1
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青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目狭缝涂布及附属设备采购项目2026-01-12-011-01
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招标范围
（1）主要设备：狭缝涂布设备1台
附属设备：真空制晶设备1台、退火设备1台。
备品备件：气管、液管、管路接头、玻璃供液罐、垫片。
专用工具：扭力扳手、公制内六角扳手、大理石平尺、硅片取放料工具、油石。
（2）随机文件、技术资料（包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手册），负责设计、制造、试验（包括工厂试验、出厂试验、交接试验）、供货、包装、运输、现场安装、调试及试运行，并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。
（3）构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内容之内。
2.3主要配置及技术参数：
2.3.1狭缝涂布设备技术参数
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序号
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性能指标名称
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要求参数值
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1
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适用基材
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透明导电玻璃、硅片等基材
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2
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适用基材尺寸
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玻璃≥400mm×400mm，硅片≥166mm×166mm
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3
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涂膜面积
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玻璃有效涂膜面积≥380×380mm，硅片需满涂
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4
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固含量
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5-75%
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5
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适用基材厚度
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玻璃：1.1~3.5mm
硅片：0.1~0.3mm
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6
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涂布厚度
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0.1-10μm（干膜）
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7
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涂布速度
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0-100mm/s，速度可调，速度精度0.1mm/s
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8
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涂布方式
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狭缝涂布
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9
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薄膜均匀性
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片内薄膜不均度≤5%（采用9点测试法，以上、下、左、右、中心9点为测量基准，计算方式为Ui=(Umax-Umin)/(Umax+Umin)，U为膜厚），片间薄膜不均匀度≤3%（计算方式为Ui=(Uavgmax-Uavgmin)/(Uavgmax+Uavgmin)，U为膜厚），玻璃背面无污染。（设备连续工作10个工作日均满足）
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10
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适用溶剂体系
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水性、油性、有机溶剂等溶剂型涂料
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11
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设备配备双龙门
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每套龙门各配一套模头、一套供液系统
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12
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涂硅片
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设备可通过更换“吸附平台、模头”等组件的方式，切换为涂覆硅片的设备。所需的吸附平台及模头由厂家配齐
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13
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硅片取放
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设备配备顶升装置，便于取放硅片
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14
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预涂功能
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设备配备预涂区域或预涂辊
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15
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平移系统
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保证龙门或吸附平台的平稳移动，调平后刀头与平台的相对平行度＜20μm
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16
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涂布模头
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采用流体仿真设计涂布模头，刀头直线度（R）≤3μm，粗糙度Ra≤0.025；唇口直线度（R）≤3μm，提供第三方专业检测报告
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17
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模头数量配置
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涂玻璃模头配备2个，涂硅片模头配备1个
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18
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涂布模头材质
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不锈钢合金，具有良好的耐腐蚀性能，可拆卸清洗，防形变
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19
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模头升降
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模头升降采用高精度伺服电机方式驱动；可自动调整唇口与被涂基材的间隙。涂膜高度依基板厚度自动调节，可手动设置补偿功能。左右两侧可自动调平（调节模头唇口与被涂基板的平行度），自动调平后，狭缝模头水平校准误差精度≤±2μm
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20
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垫片厚度
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0.05/0.08/0.1mm
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21
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功能模块
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涂布模头具有防撞、快速充液和排泡功能（快速充液和排泡功能满足对供液泵、模头及管路进行充液和排泡。从空模头、空浆料罐状态到可进行涂膜状态之间间隔不得超过10min）
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22
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基台及材质
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整机携有大理石承重减震基底平台
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23
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基材测距
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每次涂膜前，可自动检测当前基板高度（厚度），同一片基板高度（厚度）检测误差≤3μm
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24
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注液泵
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注液泵应能保证浆料挤出均匀连续，确保涂膜一致性，其速度精度优于0.1μl/s；供液速度在1-500μl/s，速度可调；具备自动补液、补液后自动泄压及回吸功能
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25
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自动清洗模块
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设备具备自动清洗模头功能，自动清洗后，必须保证无药液残留，管路及型腔内部无明显液体凝聚现象；设置模头清洗区域，配备压刀槽和排液槽，配合上述自动清洗功能和快速充液、排泡功能
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26
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吸附平台
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表面平整度≤±5μm，平台集成真空吸附系统，大小可调
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27
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储液罐及管路
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需采用耐腐蚀材料，液体管路需使用半透明材质
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28
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质量保证
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涂布过程中，需要通过程序实时控制注液情况，以确保在涂布前端及涂布结束后，不能出现涂布头滴液情况
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29
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防尘和尾废
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设备配备防尘罩及FFU过滤系统，内部洁净度保证在千级；配备三色灯及挥发溶剂排风口；机台具有防液体泼洒特性，避免浆料侵入设备内部，损坏内部关键元器件
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30
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模头拆装平台
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需设计模头拆装平台，调平后的平台平整度≤10μm。此外，需要配备专用刀头分解和内部清洗工装及工具，确定清洗频次及方法
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31
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控制方式
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高清触摸屏控制，带有配方存储功能，可保存20组以上成熟的工艺参数；可设置各系统功能的启停、运动轴参数；操作方便简单
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2.3.2真空制晶设备技术参数
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序号
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性能指标名称
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要求参数值
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1
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适用基材
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透明导电玻璃、硅片等基材
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2
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适用基材尺寸
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玻璃≥400mm×400mm，硅片≥166mm×166mm
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3
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抽气速率
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大气压至10pa：t≤10s，抽真空速度可调；最低可抽至0.8pa
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4
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破真空
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破真空时间需控制在3-10s
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5
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破真空使用气体
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氮气或者压缩空气
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6
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真空泵
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进口或同等级国产一流品牌干泵，真空泵开启可在控制台操作
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7
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水冷机
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设备自带用于给真空泵冷却的水冷机
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8
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真空计
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双真空计或双量程真空计，用以检测大气压至低压，并在低压区域的量程保证一定精度
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9
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抽气方式
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上抽式设计，需配备匀流板，减弱膜面气流扰动
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10
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控制方式
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高清触摸屏控制（或显示器+键盘+鼠标）；可设置VCD的快慢抽时间、保压时间等参数；工艺参数可分别编号存储和导出，具备工艺历史记录查看功能
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11
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安全装置
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防止过高真空造成设备损坏，设有自动压力调节与安全阀功能
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12
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功能配置
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配有防倒吸，废气收集或过滤系统、破空过滤系统、压力侦测系统；需额外预留一个真空泵接口
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2.3.3退火设备技术参数
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序号
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性能指标名称
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要求参数值
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1
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适用基材
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透明导电玻璃、硅片等基材
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2
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适用基材尺寸
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≥400mm×400mm，可向下兼容
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3
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加热温度范围
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室温~250℃
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4
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加热器件
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设定3个基材工艺腔体，腔体温度独立控制，腔体单独进料与出料，每个腔体上下两个加热器
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5
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升温速率
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升温速率可调，≥25℃/min
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6
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温度精度
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±1℃
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7
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温度均匀性
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±3℃（采用9点测试法，将9个热电偶贴在基材上，以上、下、左、右、中心9点为测量基准，进行温度均匀性测试）
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8
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尾气
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工艺过程中能有效均匀排出挥发的有机废气，排气速率可调
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9
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保护气体
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设备可接入氮气保护气体，配有预热腔，确保保护气体充分预热
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10
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随机工具
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附带取放料工具，避免烫伤
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合同签订后4个月内完成设备到货，并在两周内完成设备的调试。
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本项目位于陕西省西安长安航天基地东长安街589号
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300
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2
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青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目
2026-01-12-011-02
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招标范围
（1）主要设备：采购真空蒸镀设备1套，主要包括基片装置、蒸发沉积系统、真空系统、膜厚监控系统、电气控制系统及水冷系统等，同时包含设备所必须的安装附件及辅助设备、随机文件、技术资料（包括操作手册、使用指南、维修指南或服务手册），负责运输、安装、调试、检验、验收并提供相应的技术服务与质量保证、售后服务、技术培训等。
（2）备品备件：掩膜版、钨舟、钼舟、石英坩埚、晶振片、CF35铜垫圈、匹配设备规格的密封圈等；
（3）专用工器具：拆卸、安装、检修设备时专用的工器具1套（包含外六方扳手、内六方扳手、螺丝刀、扳手等工具）。
构成设备的任何部件、组件和装置如果在本供货范围及工作内容中没有提到，但对该设备的安全可靠运行是必需的，也应包括在供货范围及工作内容之内。
2.3主要配置及技术参数
2.3.1真空蒸镀设备主要配置
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序号
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性能指标名称
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技术要求
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备注
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1.1
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真空镀膜室
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1.1.1
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材料及结构
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真空室采用304不锈钢，腔体内壁电解抛光处理，减少表⾯放⽓；须保留前后门，便于对腔体内部进行维护
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1.1.2
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观察窗
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由保护玻璃、硬质玻璃组合而成，需符合X射线防护国家标准
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1.1.3
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腔体漏率
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漏率优于5.0×10-10Pa.m3/S，保压12小时后，压强≤5Pa。
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1.2
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蒸镀真空系统
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1.2.1
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极限真空度
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系统洁净、空置时优于5×10-5pa
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1.2.2
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分子泵
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抽气速率不小于3000L/s
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1.2.3
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机械泵
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抽气速率不小于25m3/h
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1.2.4
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真空测量时间
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大气环境万级洁净间氛围下从常压抽至≤5×10-4pa时间≤30min；
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1.2.4
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极限真空测量
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测量范围从1×105Pa到5.0×10-5Pa
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1.2.4
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真空密封
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采用金属密封和氟橡胶圈密封
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1.3
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蒸发室基片装置
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1.3.1
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基片材料
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导电玻璃
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1.3.2
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样品尺寸
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400mm×400mm的样品且可向下兼容更多尺寸
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1.3.3
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基片托盘
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通过电机旋转0~30rpm可调
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1.4
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蒸发源和蒸发电源
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1.4.1
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蒸发源
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配备2组金属蒸发源和4组有机蒸发源，可兼容蒸镀金属、有机及无机材料；源与源之间均配有防止交叉污染的防污板
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1.4.2
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金属蒸发电源
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配备可编程的直流稳压金属蒸发电源1套，金属蒸发电源功率≥1.5KW及以上，最高升温温度可达1500℃，且通过电流控制方式，精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01Å/s的精度显示，可进行电流、电压模式的任意切换和具有水冷控制
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1.4.3
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有机蒸发电源
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配备有机蒸发电源1套；可通过电流或PID智能温控方式进行控制（采用电流控制方式时需精确到0.1A，并实现蒸镀速率0.01Å/s的精度显示，可进行电流、电压模式的任意切换和具有水冷控制；采用PID智能温控方式时控温精度±1℃）；
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1.4.4
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控制系统
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采用PLC+PC控制方式
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1.4.5
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安全保护措施
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缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护。
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1.5
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膜厚监测系统
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1.5.1
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膜厚仪
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不少于1组膜厚仪，不少于2套膜厚检测探头
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1.5.2
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蒸发速率测量精度
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0.1~0.5A/s(≤±10%)，0.6~10.0A/s(≤±5%)
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1.5.3
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膜厚仪测量精度
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膜厚仪测量精度优于±0.01Å/s，若镀膜达到设置厚度，可自动切断电源，停止镀膜且挡板关闭
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1.5.4
|
温度控制精度
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±1℃（RT~700℃）
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1.5.5
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厚度测量精度
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优于±1Å；具备与电源联锁功能
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1.5.6
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片内膜厚不均匀性
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≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范围内的薄膜材料：包括但不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%
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1.5.7
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片间膜厚不均匀性
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≤5.0%（样品尺寸400mm×400mm，且在20nm~100nm范围内的薄膜材料：包括但不限于金、银、铜、铝、C60、BCP、LiF2、MgF2等材料，且由招标方指定材料进行验证），测试方法：薄膜有效区范围内3×3排列9点测量：不均匀性=（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）*100%。
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|
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1.6
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自动镀膜系统
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开启后根据用户设置的升降温和蒸发速率参数，自动升温加热蒸发材料，按照制定速率蒸镀，到达设定厚度后自动关闭挡板，并降温
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1.7
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水冷系统
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1.7.1
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冷水机
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控温范围：5℃~30℃
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1.8
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工艺支持
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投标人提供C60和BCP作为钙钛矿器件电子传输层的蒸镀工艺，保证招标方在其他薄膜层制备条件不变时采用该工艺制备电子传输层的钙钛矿太阳能电池性能不低于招标方使用旋涂法制备PCBM和BCP作为电子传输层的性能。
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注：其他未列入本表的参数应能满足设备整体工艺安全运行性能，并符合设备配置参数及国家标准
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合同签订生效后90日内整批交货（包含备件及工具）（详见第二卷第五章供货要求）
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本项目位于陕西省西安长安航天基地东长安街589号
|
300
|
注：以上为参考参数和数量,具体参数、数量及招标范围以招标文件相关内容为准。
3.投标人资格要求及业绩要求
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序号
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标段名称
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资格要求及业绩要求
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1
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青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目狭缝涂布及附属设备采购项目2026-01-12-011-01
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投标人基本资格要求
（1）投标人具有独立订立合同的资格；
（2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）网站查询为准，没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻结、破产状态；
（3）财务状况及资信
近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格证明。
（4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合同被解除的情形；
（5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标；
（6）投标人没有处于相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入供应商涉案“黑名单”。
专用资格条件
资质要求：投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的狭缝涂布设备制造企业或代理企业。代理企业必须提供狭缝涂布设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号）只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则相关投标均做无效处理。
业绩要求：投标人应具有近3年内（自投标截止日往前推算，已竣工验收时间为准）完成至少3台及以上，加工幅面≥300mm×300mm的狭缝涂布设备在钙钛矿电池制备领域供货业绩，同时至少有1台有效涂布幅面不小于1.2m×0.6m的供货业绩。【需提供合同复印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）】。
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2
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青海黄河上游水电开发有限责任公司太阳能电池及组件研发实验室钙钛矿电池研发平台建设项目真空蒸镀设备采购项目
2026-01-12-011-02
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投标人资格要求
投标人基本资格要求
（1）投标人具有独立订立合同的资格；
（2）投标人经营状况良好，具有良好的资信和信用（以“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）网站查询为准,没有被列入严重失信主体名单），没有处于会导致中标后无法履行合同的被责令停产停业、财产被接管、冻结、破产状态；
（3）财务状况及资信
近三年财务和资信状况良好。没有财产被接管、冻结或处于破产状态。应提供银行出具的资信证明、纳税人资格证明。
（4）投标人近36个月内(含，自投标截止日起往前推算)不存在骗取中标、严重违约及因自身的责任而使任何合同被解除的情形；
（5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位不得在同一标段投标；
（6）投标人没有处于相关文件确认的禁止投标的范围和处罚期内；未被列入供应商涉案“黑名单”。
专用资格条件
资质要求
投标人必须是在中华人民共和国市场监管部门注册的，具有独立法人和一般纳税人资格的真空蒸镀设备制造企业或代理企业。代理企业必须提供真空蒸镀设备制造企业出具的有效授权书。同一货物/产品（同一品牌、同一型号）只能有一家投标人。如为代理商投标，一个制造商对同一品牌、同一型号的货物，仅能委托一个代理商参加投标，否则相关投标均做无效处理。
业绩要求
投标人应具有近3年内（自投标截止日起往前推算，以竣工验收时间为准）完成至少3台及以上同类型和功能的有效加工幅面不小于30mm*30mm蒸镀设备供货业绩。【需提供合同复印件（包括合同首页、承包范围、签字页）、竣工证明（竣工验收证明或业主出具的证明文件或其他有效证明资料）】
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4.资格后审
招标人将根据投标人提供的投标文件在评标阶段对其进行资格后审，对资格审查不合格投标人，将不进入下一阶段评审，其后果由投标人自行承担。
5.招标文件的获取
5.1招标文件发售方式本项目实行在线售卖招标文件。凡有意参加投标者，请于购买招标文件时间内进入报名参与购买招标文件，不接受现场购买。
5.2招标文件发售时间2026年1月12日23:59时至2026年1月18日23:59时（北京时间）。热线服务：上午9:00～11:30，下午13:30～17:30（法定节日除外）。
购买招标文件的投标人,请联系办理供应商会员事宜，未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。成为正式供应商后根据招标公告的相应说明在线完成招标文件的购买!为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程以公告详细内容为准!
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