招标公告

1. 招标条件

本招标项目快速退火设备 该项目已具备招标条件，现对快速退火设备进行国内公开招标。

2. 项目概况与招标范围

2.1 招标编号：ZKX20260424A030

2.2 招标项目名称：快速退火设备。

2.3数量: 1套

2.4 主要内容：快速退火设备要求为国产全新设备，用于4/6英寸InP基晶圆气态源扩散后，进行快速退火处理进一步提高载流子浓度。主要流程：通过机械臂将晶圆置于反应腔室内的工艺基座上，晶圆正面朝上。加热源采用模块化卤素灯阵列，配合高精度温度传感器，实现晶圆表面对称、均匀且快速的升温与降温。配置惰性气体/反应气体吹扫系统，腔室采用密闭结构，避免空气进入。工艺完成后，机械臂将晶圆传送回晶圆盛放单元。包括工艺腔、全自动传送系统、快速升温系统、快速降温系统、真空机组、工艺气体管路、计算机控制系统7个模块，具体要求详见招标文件第五章供货要求。

2.5 交货

2.6 交货期：合同生效后150天。

3. 投标人资格要求

3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 业绩要求：投标人须提供2023年1月1日至今已签订的本次投标设备同型号或类似的销售业绩≥5台；须提供设备采购合同复印件、发票或有效的付款证明材料复印件；合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页等能反映业绩要求的主要内容；类似业绩须是应用于InP、GaAs等III-V族化合物半导体晶圆工艺，须提供类似业绩证明材料，包括合同资料或技术协议或验收材料或合同甲方出具的证明材料或合同甲方主营业务的网站截图等。未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5 投标人必须向招标代理机构

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade